Les déchets de plaquettes de silicium peuvent-ils être recyclés ?

La production de silicium semi-conducteur de haute pureté pour les circuits intégrés et de silicium pour les panneaux solaires augmente d'année en année. Dans le processus de production de plaquettes, environ 60 % du silicium, le lingot de silicium après découpe, est mis au rebut avec le traitement des eaux usées de découpe et de polissage. Le coût de récupération du silicium de haute pureté est très élevé. Si la boue de silice peut être transformée en céramiques structurelles à base de nitrure, cela contribuera à résoudre les problèmes écologiques dans les industries des semi-conducteurs et du photovoltaïque.
Les mauvaises tranches de silicium et les tranches de silicium solaire générées pendant le processus de production peuvent être recyclées.
La méthode de récupération des plaquettes de silicium consiste à trier les plaquettes de silicium non standard générées et rejetées lors du processus de fabrication du dispositif semi-conducteur via un processus de tri, et à modifier la surface lors du processus de traitement chimique et du processus de traitement physique. La surface est grattée. Ensuite, la surface de la plaquette de silicium est activée par un processus d'activation chimique, puis séchée par un processus de séchage par micro-ondes, de sorte que la plaquette de silicium non standard puisse être réutilisée comme substrat de silicium de la cellule solaire.