Les plaquettes de silicium doivent être strictement nettoyées lors de la production de dispositifs semi-conducteurs. Des traces de contamination peuvent également entraîner une panne de l'appareil. Alors, à quoi sert le nettoyage des plaquettes de silicium ?
Le but du nettoyage des plaquettes de silicium est d’éliminer les impuretés de contamination de surface, y compris les substances organiques et inorganiques. Certaines de ces impuretés existent à l’état atomique ou à l’état ionique, et d’autres existent sous la forme de films minces ou de particules à la surface de la plaquette de silicium. conduire à divers défauts.
A quoi sert le nettoyage des plaquettes de silicium ?
Jul 17, 2023
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