Quelle est l’uniformité du dépôt de couches minces ?
L'uniformité des couches minces fait référence à la cohérence de la distribution de l'épaisseur de la couche mince sur l'ensemble de la plaquette. Une bonne uniformité signifie que l'épaisseur de la couche mince est très proche à chaque endroit de la plaquette.
Quels sont les types d’uniformité des films minces ?
En général, les types suivants sont considérés :
● Uniformité au sein de la plaquette: Uniformité au sein d'une même plaquette.
● Uniformité de plaquette à plaquette: Uniformité entre les différentes plaquettes.
● Uniformité d'un lot à l'autre: Uniformité entre les différents lots de plaquettes.
Comment l’uniformité est-elle calculée ?
En prenant comme exemple l'uniformité intra-wafer, son écart type est calculé à l'aide de la formule :
Cette formule calcule la racine carrée de la moyenne des différences au carré entre chaque point de données et la moyenne des données.
σ (écart type):Représente le degré de dispersion des données ; plus l’écart type est grand, plus la dispersion est grande.
N:Le nombre total de points de données mesurés.
moi:La valeur d'épaisseur du ième point de données.
Signifier:La valeur moyenne de tous les points de données.
(ti−Moyenne)^2:La différence au carré entre chaque point de données et la moyenne.
∑: Sommation.
La formule est un peu difficile à comprendre, voici donc un exemple :
Supposons que nous ayons un ensemble de points de données d'épaisseur de film mince : 55,1, 54,8, 55,3, 54,9, 55.0, 54,7, 55,2, 54,9, 55,1, 54,8.
●Tout d’abord, calculez la moyenne de ces 10 points : Moyenne=54.98.
●Ensuite, calculez la différence au carré entre chaque épaisseur et la moyenne : {{0}}.0144, 0.0324, {{10}}.1024, 0.0004, 0,0004, 0,0784, 0,0484, 0,0004, 0,0144, 0,0324.
●Additionnez ces différences au carré et trouvez la moyenne : (0.0144 + 0.0324 + 0.1024 + 0.0004 + 0.0004 + 0.0784 + 0.0484 + 0.0004 + 0.0144 + 0.0324)=0.3996.
●Enfin, calculez l’écart type : σ=0.193.