Quel est le bord plat d’une plaquette de silicium ?
Le plat peut également être appelé bord de positionnement.
Les plaquettes de silicium de 2, 4 et 6- pouces ne sont pas complètement rondes, mais ont un coin manquant coupé. Une fois le lingot de silicium extrait par la méthode CZ, avant qu'il ne soit découpé en plaquettes de silicium, une fois l'orientation du cristal déterminée, un ou plusieurs bords plats seront coupés sur le lingot avec une scie diamantée. Par conséquent, la plaquette de silicium a des bords de positionnement de 1-2, le bord de positionnement long est au bas de la plaquette et le bord de positionnement court n'est pas fixé en position, changeant avec l'orientation du cristal et le type de dopage.
Quelle est la relation entre la position du bord de positionnement et l’orientation du cristal ?
Il existe généralement trois types d'orientations cristallines pour les plaquettes de silicium :<111> <110> <100>.
Lorsque l'angle entre le bord de positionnement principal et le bord de positionnement secondaire est de 45 degrés, le type de plaquette de silicium est de type n<111>; lorsque l'angle entre le bord de positionnement principal et le bord de positionnement secondaire est de 90 degrés, le type de plaquette de silicium est de type p<100>; lorsque l'angle entre le bord de positionnement principal et le bord de positionnement secondaire est de 180 degrés, le type de plaquette de silicium est de type n<100>. Depuis le<110>L'orientation cristalline n'est pas une orientation cristalline courante des plaquettes de silicium, il n'existe pas de norme pour la représenter.<110>L'orientation cristalline peut être représentée selon les propres normes du fournisseur de plaquettes de silicium.
Les longueurs des bords de positionnement primaires et secondaires sont-elles fixes ?
Oui, car ils doivent correspondre aux équipements de fabrication de semi-conducteurs, les longueurs et les positions des bords de positionnement primaires, primaires et secondaires sont fixes.
En général, la longueur du bord de positionnement principal d'une plaquette de silicium de 0,08 cm (1 po) est de 15,8 mm, la longueur du bord de positionnement principal d'une plaquette de silicium de 3,08 cm (3 po) est de 32,5 mm et la longueur du bord de positionnement principal d'une plaquette de silicium de 6,08 cm (6 po) est de 57,5 mm. La longueur du bord plat de positionnement secondaire d'une plaquette de silicium de 9,08 cm (1 po) est d'environ 18 mm et la longueur du bord plat de positionnement secondaire d'une plaquette de silicium de 11,08 cm (1 po) est d'environ 22 mm.
