Le processus de préparation d’une plaquette de silicium comprend principalement les étapes suivantes :
Fusion du silicium : tout d’abord, du silicium d’une pureté extrêmement élevée est fondu à haute température pour former du silicium liquide.
Croissance monocristalline : Ensuite, le silicium liquide fondu est transformé en silicium monocristallin par une technologie de semi-conducteurs telle que la méthode Czochralski ou la méthode de fusion de zone.
Découpe de lingots de silicium : le silicium monocristallin développé est découpé en tranches de silicium d'une épaisseur d'environ 0,5-1 mm.
Polissage : Enfin, les plaquettes de silicium subissent un processus de polissage de précision pour obtenir une surface lisse qui répond aux besoins des applications de qualité électronique.
Processus de préparation d'une plaquette de silicium
Jul 05, 2023
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