La société peut fournir à ses clients diverses spécifications et des tranches de silicium SOI de haute qualité (Silicon On Insulator-Silicon On Insulator), qui conviennent aux clients dans une large gamme d'applications, notamment les MEMS, les dispositifs de puissance, les capteurs de pression et la fabrication de circuits intégrés CMOS. Les plaquettes SOI constituent une bonne solution pour les dispositifs à haute vitesse et à faible consommation, et sont largement considérées comme une nouvelle solution pour les dispositifs haute tension et RF. La plaquette SOI est une structure sandwich de type sandwich à trois couches ; y compris la couche supérieure (couche de dispositif), la couche d'oxyde enterrée centrale (couche isolante de SiO2) et le substrat inférieur (silicium en vrac). Les tranches SOI sont produites à l'aide de la méthode SIMOX et de la technologie de liaison de tranches, de sorte que des couches de dispositif plus fines et plus précises, une épaisseur uniforme et une faible densité de défauts puissent être obtenues.
Introduction de base de la plaquette de silicium SOI
Jul 08, 2023
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