Les plaquettes de silicium sont un type de matériau semi-conducteur largement utilisé dans l’électronique, les ordinateurs, les communications, l’automobile, l’aérospatiale et d’autres domaines. Les plaquettes de silicium sont classées en plaquettes de silicium semi-conductrices et plaquettes de silicium photovoltaïques en fonction de la pureté des plaquettes de silicium ; elles sont classées en tranches polies, tranches recuites, tranches épitaxiales et tranches SOI selon le processus ; elles sont classées en 12 pouces\300 mm, 8 pouces\200 mm et 6 pouces\150 mm selon la taille, parmi lesquelles les plaquettes de silicium de 200 mm et 300 mm ont une gamme d'applications plus large.
Classification des plaquettes de silicium |
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| Critères de classement | Catégories de produits | introduire |
| Classification par pureté des plaquettes de silicium | Plaquettes de silicium semi-conducteur Plaquettes de silicium photovoltaïques |
1. Les plaquettes de silicium semi-conducteur sont des matériaux importants pour la fabrication de circuits intégrés. Grâce à la photolithographie, à l'implantation ionique et à d'autres méthodes, des circuits intégrés et divers dispositifs semi-conducteurs peuvent être réalisés. 2. Les plaquettes de silicium photovoltaïques sont des plaquettes de silicium utilisées dans le domaine photovoltaïque. Dans le domaine photovoltaïque, les plaquettes de silicium sont principalement utilisées pour compléter la conversion de l'énergie solaire en énergie électrique. |
| Classement par processus | " Plaquette polie Plaquette recuite Plaquette épitaxiale Plaquette SOI" |
1. Les plaquettes de polissage sont les produits les plus largement utilisés, les plus utilisés et les plus basiques. D'autres produits à base de plaquettes de silicium sont fabriqués par un traitement secondaire basé sur le polissage des plaquettes. 2. Les plaquettes de recuit sont obtenues en recuit les plaquettes de polissage dans un environnement à haute température rempli d'argon ou d'oxygène. Cela peut réduire considérablement la teneur en oxygène à la surface de la plaquette de polissage, offrant ainsi une meilleure intégrité des cristaux et répondant à des exigences plus élevées de gravure de semi-conducteurs. 3. Les plaquettes épitaxiales utilisent la technologie de croissance en phase vapeur sur la surface de la plaquette de polissage pour faire croître épitaxialement une seule couche de structure de produit sur la surface de la plaquette de polissage, de sorte que sa surface soit plus lisse que la plaquette de polissage coupée lors de la découpe, réduisant ainsi la surface. défauts. 4. Les plaquettes SOI sont des structures sandwich, c'est-à-dire que la couche inférieure est la plaquette de polissage, la couche intermédiaire est la couche d'oxyde enterrée et la couche supérieure est la plaquette de polissage à couche active, qui peut obtenir une isolation électrique élevée, réduisant ainsi la capacité parasite et fuite. |
| Classement par taille | 1 2 pouces \ 3 0 0 mm 8 pouces \ 2 0 0 mm 6 pouces \ 1 5 0 mm |
1. Principalement utilisé dans les produits haut de gamme, tels que les processeurs, les GPU et autres puces logiques et puces de mémoire, qui constituent la taille dominante sur le marché actuel, avec une part de marché d'environ 65 à 70 %. 2. Principalement utilisé dans les produits bas de gamme et milieu de gamme, tels que les puces de gestion de l'alimentation, les MCU, les semi-conducteurs de puissance, etc., avec une part de marché d'environ 25 à 27 %. 3. Principalement utilisé dans les produits bas de gamme et milieu de gamme, tels que les semi-conducteurs de puissance, avec une part de marché de près de 6 à 7 % |
Les plaquettes de silicium sont classées en plaquettes de silicium semi-conductrices et plaquettes de silicium photovoltaïques en fonction de leur pureté. Dans le domaine photovoltaïque, on utilise à la fois du silicium monocristallin et du silicium polycristallin, avec une exigence de pureté d'environ 99,9999 % (4-6N). Ils sont principalement utilisés pour fabriquer des cellules solaires et sont largement utilisés dans les centrales photovoltaïques, la production d’énergie photovoltaïque distribuée sur les toits et dans d’autres domaines. Dans le domaine des semi-conducteurs, seul le silicium monocristallin est utilisé. À mesure que son processus continue de diminuer, sa pureté doit atteindre 99,999999999 % (11N) ou plus. Il est principalement utilisé pour fabriquer des puces et est largement utilisé dans les communications, l’électronique grand public, l’automobile, l’industrie et d’autres domaines. Dans l'indice de classification de la pureté des plaquettes de silicium, elles sont classées selon différents niveaux de pureté, et le ppm (c'est-à-dire les parties par million) est généralement utilisé pour mesurer sa pureté. Les plaquettes de silicium sont utilisées pour le silicium cristallin, le silicium semi-conducteur, le silicium électronique, le silicium de qualité industrielle, le silicium de qualité production, le silicium général, etc. selon différentes puretés.
Comparaison entre les tranches de silicium semi-conducteur et les tranches de silicium photovoltaïques |
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| Applications | Normes de pureté | Types de matières premières de silicium | Normes de surfaces | Formes et tailles | Applications |
| Semi-conducteurs | 99.999999999%(11N) | Silicium monocristallin | La planéité et la douceur sont contrôlées dans un rayon de 1 nm | Rond, diamètre 150, 200, 300 mm | Principalement utilisé pour fabriquer des puces, il est largement utilisé dans les communications, l’électronique grand public, l’automobile, l’industrie, etc. |
| Photovoltaïque | 99.9999%左右(4-6N) | Il existe à la fois du silicium monocristallin et du silicium polycristallin, dont le silicium polycristallin représente environ 60 %. | Les normes sont inférieures à celles du domaine des semi-conducteurs | Carré, les longueurs des côtés peuvent être de 125 mm, 150 mm et 156 mm | Principalement utilisé pour fabriquer des cellules solaires, largement utilisées dans les centrales photovoltaïques, la production d'énergie photovoltaïque distribuée sur les toits et d'autres domaines. |
Indice de classification de pureté des plaquettes de silicium |
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| Niveau de pureté des plaquettes de silicium | Pureté des plaquettes de silicium | Impuretés des plaquettes de silicium |
| Niveau 6N | La pureté est de 99,9999 % | Autrement dit, les impuretés ne dépassent pas 10 ppm |
| Niveau 7N | La pureté est de 99,99999 % | Autrement dit, les impuretés ne dépassent pas 1 ppm |
| Niveau 8N | La pureté est de 99,999999 % | Autrement dit, les impuretés ne dépassent pas 0,1 ppm |
| Niveau 9N | La pureté est de 99,9999999 % ou plus | Autrement dit, les impuretés ne dépassent pas 0,01 ppm |
Indice de pureté des plaquettes de silicium par application |
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| Classification par pureté d'application | Indicateurs spécifiques |
| Silicium cristallin | Le silicium cristallin est synthétisé à partir de diamant et de sable de silice, et la pureté du produit atteint 99,999 %. |
| Silicium semi-conducteur | Le silicium semi-conducteur est obtenu par un traitement ultérieur du silicium cristallin. La pureté du silicium semi-conducteur est aussi élevée que 99,9999 %, qui est une version améliorée du silicium cristallin. |
| Silicium électronique | Le silicium électronique est utilisé pour fabriquer des appareils électroniques. Sa pureté atteint 99,999999 %. Le silicium électronique a 6 9 de plus que le silicium cristallin silicium, également connu sous le nom de silicium de qualité six-neuf. |
| Silicium de qualité industrielle | Le silicium de qualité industrielle est utilisé pour fabriquer des pièces industrielles. Sa pureté atteint généralement 99,99 %-99,999 %, ce qui est légèrement pire que silicium cristallin. |
| Silicium de qualité production | Le silicium de qualité production est utilisé pour fabriquer des pièces de production. Sa pureté est généralement comprise entre 99,95 %-99,99 %, ce qui est légèrement pire que silicium cristallin. |
| Silicium général | Le silicium général est un silicium plus courant. Sa pureté est généralement comprise entre 99 % -99,8 %, ce qui est la substance de silicium la plus courante. |
