Qu'est-ce qu'une encoche de plaquette ?
Une encoche est une petite rainure découpée directement sous une plaquette de silicium, généralement en forme de V ou de U. Notch a deux fonctions. La première consiste à marquer l'orientation des cristaux de la plaquette de silicium, par exemple<100>, <110>, <111>, etc. L'autre fonction est de permettre à la plaquette de silicium d'être correctement positionnée et alignée dans l'équipement de fabrication de semi-conducteurs. Généralement, les encoches se trouvent dans les tranches de 8-pouces et de 12-pouces.
A quoi ressemble Notch ?
La taille de l'encoche doit être strictement conforme aux normes SEMI, comme le montre la figure ci-dessus :
1. Vw représente la largeur totale de l'encoche et sa taille est liée au diamètre et à l'épaisseur de la plaquette de silicium.
2. Vh est la profondeur de l'encoche, qui indique la distance verticale entre le bord de la plaquette de silicium et le fond de la rainure. Elle varie généralement de 1,0 à 1,25 mm. Vh est crucial pour garantir la précision de l’alignement de l’encoche.
3. AngV, c'est-à-dire l'angle d'encoche. AngV est l'angle de l'entaille, qui est l'angle entre les bords de la rainure des deux côtés. Elle se situe généralement entre 89 degrés et 95 degrés. Cet angle joue un rôle déterminant dans la géométrie et le positionnement de l'entaille.
4. R1 et R2 représentent les rayons des coins des deux côtés de l'encoche. Ces deux rayons déterminent la douceur des coins des rainures, affectent la concentration de contraintes de l'encoche et affectent les propriétés mécaniques de la plaquette de silicium.
5. Vr est le rayon de courbure au fond de l'entaille, indiquant la taille de l'arc au fond de la rainure. Vr peut modifier la forme de la courbe et la douceur de l'encoche. Un Vr plus grand peut rendre le bas de l’encoche plus plat, ce qui contribue à réduire la concentration des contraintes.
6. Orientation de l'encoche : la direction de la rainure est parallèle à l'orientation spécifique du cristal de la plaquette, et un écart de ± 2 degrés est autorisé.